公开/公告号CN105226030B
专利类型发明专利
公开/公告日2018-12-18
原文格式PDF
申请/专利权人 济南市半导体元件实验所;
申请/专利号CN201510669808.3
申请日2015-10-13
分类号H01L23/08(20060101);H01L23/48(20060101);H01L23/367(20060101);H01L23/373(20060101);H01L29/872(20060101);H01L21/60(20060101);
代理机构37218 济南泉城专利商标事务所;
代理人李桂存
地址 250014 山东省济南市和平路51号
入库时间 2022-08-23 10:22:30
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-12-18
授权
授权
2016-02-03
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L23/08 申请日:20151013
实质审查的生效
2016-02-03
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 23/08 申请日:20151013
实质审查的生效
2016-01-06
公开
公开
2016-01-06
公开
公开
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