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机译:具有改进带宽和尖锐可变结电容的高压大功率多层RF PIN二极管的新型结构
RF high voltage high power multilayer Pin diode; silvaco; cut-off frequency; halo; packed heavily doped region; sharp variable capacitor; high gradient E-field; Switching speed characteristic; on-state resistance; forward voltage drop; softness factory;
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