首页> 中国专利> 形成晶片级别芯片规模封装的方法及由此形成的封装

形成晶片级别芯片规模封装的方法及由此形成的封装

摘要

金层(405)设置在带突点的晶片(205)上的铜柱(210)的上表面(225)上。然后将涂覆材料(410)施加到低于铜柱(210)的高度处,设置腐蚀剂以除去金层(405)上的涂覆材料,并除去附着到铜柱(210)侧面的涂覆材料(410)。然后将焊料球(405)设置在铜柱(210)的端部,铜柱(210)伸入到焊料球(405)内。在可替代实施例中,焊料球首先附着到铜柱的自由端,施加涂覆材料以密封半导体晶片上的焊料球和铜柱。然后使用腐蚀剂除去部分涂覆材料,从而充分露出焊料球。

著录项

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2009-04-15

    专利申请权、专利权的转移(专利权的转移) 变更前: 变更后: 登记生效日:20090313 申请日:20020612

    专利申请权、专利权的转移(专利权的转移)

  • 2007-05-09

    授权

    授权

  • 2004-08-11

    实质审查的生效

    实质审查的生效

  • 2004-03-31

    公开

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