公开/公告号CN105185729B
专利类型发明专利
公开/公告日2018-12-14
原文格式PDF
申请/专利权人 应用材料公司;
申请/专利号CN201510428987.1
发明设计人 夏尔玛·帕玛锡;赫蒂·道;小平·周;凯丽·A·麦克多诺;杰维科·迪内维;法里德·阿布阿梅里;戴维·E·克特内兹;吉姆·忠义·何;罗伯特·S·克拉克;丹尼斯·M·库索;杰弗里·威廉·迪茨;德克兰·斯坎伦;萨布哈什·德什;约翰·P·霍兰;亚历山大·帕特森;
申请日2007-05-02
分类号
代理机构北京律诚同业知识产权代理有限公司;
代理人徐金国
地址 美国加利福尼亚州
入库时间 2022-08-23 10:21:48
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-12-14
授权
授权
2016-01-20
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/67 申请日:20070502
实质审查的生效
2016-01-20
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/67 申请日:20070502
实质审查的生效
2015-12-23
公开
公开
2015-12-23
公开
公开
机译: 真空处理室,适用于蚀刻高纵横比特征和相同部件
机译: 真空处理室,适用于蚀刻高纵横比特征和相同部件
机译: 真空处理室,适用于蚀刻高纵横比特征和相同部件