一种多品种晶圆混合加工的组合设备稳态调度方法

摘要

本发明公开了一种多品种晶圆混合加工的组合设备稳态调度方法，包括分析多品种晶圆混合加工情形下单臂组合设备可调度性判定条件，包括含晶圆无PM共享的情形及有PM共享的情景；通过对系统分配虚拟晶圆进入虚拟加工模块完成晶圆加工，平衡工作负载，从而形成节拍稳定的周期性加工过程；对多晶圆混合加工过程的理论分析及计算，推导出系统存在稳态调度的完整特征约束，得到多品种晶圆混合加工时单臂组合设备稳态调度求解算法。