机译:基于Petri网的多项式复杂方法在半导体制造中混合多集群工具的一晶圆最优循环调度。
Department of Industrial EngineeringSchool of Electro-Mechanical Engineering, Guangdong University of Technology, Guangzhou, China;
Color; Job shop scheduling; Load modeling; Robot kinematics; Schedules; Semiconductor device modeling; Hybrid multi-cluster tools; Petri net (PN); scheduling; semiconductor manufacturing;
机译:半导体制造中基于Petri网的单臂多集群工具最佳单晶片调度
机译:基于Petri网的晶圆制造中混合多簇工具的最优单晶圆循环调度。
机译:基于Petri网的树状混合多集群工具单晶片循环最优调度的多项式方法
机译:具有空间缓冲模块的混合多集群工具的最佳单晶片循环调度分析
机译:基于Petri网的常规制造车间在线调度系统。
机译:用于改善调度性能的多集群工具的Petri网权管理设计
机译:利用创新的软件工具和基于混合启发式/模型的控制方法快速部署HVaC系统的最优控制。