强流氧离子注入机的晶片自转动装置

摘要

本发明为一种强流氧离子注入机的晶片自转动装置，包括正面有多个晶片放置位置的靶盘(7)，所述靶盘(7)的各晶片放置位置的中心部位有安装了滚珠轴承(2、8)的贯通轴孔(9)，对应于晶片放置位置的靶盘(1)的后部装有微型电动机(1)且其电动机转轴(6)装在所述贯通轴孔(9)的相应滚珠轴承(2)上，并同装有滚珠轴承(8)的硅衬转盘轴(5)的一端相连接，该硅衬转盘轴(5)的另一端同安装在靶盘正面用于放置晶片(3)的硅衬转盘(4)中心部位相连接。应用本发明可以使强流氧离子注入机的晶片剂量均匀性达到≤1%，很好地克服了已有技术晶片注入剂量不均匀、颜色特征不一致的问题，从而得到均匀性好的晶片。