机译:多晶片大电流离子注入机中的原位束角测量
Axcelis Technol, Beverly, MA 01915 USA;
high current implantation; implant angle control;
机译:大电流离子注入机中用于束流测量的低成本,准确且无干扰的连续方法
机译:半导体器件中局部厚度的原位电子束感应电流测量
机译:层状和晶体结构中的变形:聚对苯二甲酸乙二醇酯纤维的原位同时小角度X射线散射和广角X射线衍射测量
机译:多晶片大电流离子注入系统上虚拟插槽磁盘/三表面磁盘法拉第的处理性能
机译:使用聚焦离子束注入和分子束外延生长和再生长对量子结构进行原位处理。
机译:考虑波束扩展的角波束楔形传感器作为发射器和接收器的瑞利波束测量
机译:考虑光束传播的角度光楔传感器作为发射器和接收器测量瑞利波束
机译:用于半导体制造的等离子体浸没离子注入工艺。用于原位测量的LinearReentrant交叉场放大器,与数值模拟的比较和噪声机制的研究