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一种低压铝栅器件的加工方法及低压铝栅器件

摘要

本发明提供一种低压铝栅器件的加工方法及低压铝栅器件;涉及半导体MOS制造工艺技术领域,为解决现有技术中低压铝栅应用电压偏低导致的有时不能满足需求的问题而发明;其中,低压铝栅器件包括第一MOS器件和第二MOS器件,所述第一MOS器件的隔离环与源漏极之间存在第一距离;所述第二MOS器件的隔离环与源漏极之间存在第二距离。本发明提供的方案应用电压相对较高,在生产成本未增加的前提下进一步满足了应用需求。

著录项

  • 公开/公告号CN104766800B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2018-07-20

    原文格式PDF

  • 申请/专利号CN201410008617.8

  • 发明设计人 宋秀海;

    申请日2014-01-08

  • 分类号

  • 代理机构北京银龙知识产权代理有限公司;

  • 代理人许静

  • 地址 100871 北京市海淀区成府路298号中关村方正大厦808室

  • 入库时间 2022-08-23 10:13:46

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2018-07-20

    授权

    授权

  • 2015-08-05

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/336 申请日:20140108

    实质审查的生效

  • 2015-07-08

    公开

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