公开/公告号CN105390603B
专利类型发明专利
公开/公告日2018-04-03
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院上海微系统与信息技术研究所;
申请/专利号CN201510791242.1
申请日2015-11-17
分类号H01L35/34(20060101);H01L35/28(20060101);
代理机构上海光华专利事务所(普通合伙);
代理人余明伟
地址 200050 上海市长宁区长宁路865号
入库时间 2022-08-23 10:09:43
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-04-03
授权
授权
2016-04-06
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L35/34 申请日:20151117
实质审查的生效
2016-03-09
公开
公开
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