公开/公告号CN106486593B
专利类型发明专利
公开/公告日2018-09-28
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院上海微系统与信息技术研究所;
申请/专利号CN201510532111.1
申请日2015-08-26
分类号H01L35/32(20060101);H01L35/04(20060101);H01L35/34(20060101);
代理机构31219 上海光华专利事务所(普通合伙);
代理人唐棉棉
地址 200050 上海市长宁区长宁路865号
入库时间 2022-08-23 10:18:15
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-09-28
授权
授权
2017-04-05
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L35/32 申请日:20150826
实质审查的生效
2017-04-05
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 35/32 申请日:20150826
实质审查的生效
2017-03-08
公开
公开
2017-03-08
公开
公开
机译: 微型热电能量采集器及其制造方法
机译: 基于微型压电的振动能量采集器
机译: 基于微型压电的振动能量采集器