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基于CMOS-MEMS技术的双凸台微型热电能量采集器仿真和制备

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基于KOH腐蚀工艺设计并制作了双凸台结构的微型热电能量采集器.建立器件的数学模型,分析凸台结构的几何参数对器件输出性能的影响.从工艺上证明,基于CMOS-MEMS技术的双凸台结构的微型热电能量采集器可以实现低成本大批量地加工和制备.

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来源
《2016年上海市研究生学术论坛——电子科学与技术》|2016年|116-119|共4页
会议地点上海
作者
吴利青; 徐德辉; 熊斌;
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作者单位

上海市学位委员会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类设计、计算;
关键词
热电能量采集器; 凸台结构; 几何参数; CMOS-MEMS技术;

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