法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2013-04-17
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 21/8249 授权公告日:20060920 终止日期:20120228 申请日:20010228
专利权的终止
2006-09-20
授权
授权
2003-04-09
实质审查的生效
实质审查的生效
2001-09-05
公开
公开
机译: 利用场效应管和双极基多晶硅层制造多晶硅电容器的方法。
机译: 利用场效应管和双极基多晶硅层制造多晶硅电容器的方法
机译: --利用场效应管和双极基多晶硅层制造多晶硅电容器的方法