具有多电平的相变随机存取存储器器件及其制造方法

摘要

本发明公开了一种相变随机存取存储器器件及其制造方法。所述相变随机存取存储器器件包括加热电极，所述加热电极具有以台阶状突出的上表面；相变材料层，所述相变材料层形成在加热电极上的相变空间中，所述相变材料层具有多个部分，所述多个部分具有与台阶状的加热电极相对应的厚度。