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一种铟锡锌氧化物同质薄膜晶体管及其制备方法

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一种铟锡锌氧化物同质薄膜晶体管，及薄膜晶体管及其制备方法，包括衬底、栅极、绝缘层、沟道层、源极和漏极；其特征在于所述沟道层、源极和漏极材料均为铟锡锌氧化物，所述的铟锡锌氧化物是由氧化铟（In

著录项

公开/公告号CN103943683B

专利类型发明专利
公开/公告日2017-12-26

原文格式PDF
申请/专利权人山东大学(威海);
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申请/专利号CN201310651400.4
发明设计人杨田林;宋淑梅;辛艳青;王昆仑;童杨;王雪霞;
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申请日2013-12-06
分类号
代理机构威海科星专利事务所;
代理人于涛
地址 264209 山东省威海市文化西路180号
入库时间 2022-08-23 10:05:20

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2019-11-22

未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L29/786 授权公告日:20171226 终止日期:20181206 申请日:20131206

专利权的终止
2017-12-26

授权

授权
2017-12-15

著录事项变更 IPC(主分类):H01L29/786 变更前: 变更后: 申请日:20131206

著录事项变更
2014-08-20

实质审查的生效 IPC(主分类):H01L29/786 申请日:20131206

实质审查的生效
2014-07-23

公开

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