含有栅绝缘层的异质结型有机半导体场效应晶体管及制作方法

摘要

一种具有耗尽型工作模式或反型工作模式的有机半导体场效应晶体管，包括衬底(1)，在衬底(1)上形成栅电极(2)，在衬底(1)和栅电极(2)上形成栅绝缘层(3)，在栅绝缘层(3)上形成第一半导体层(4)，在第一半导体层(4)上形成源/漏电级(5)，在第一半导体层(4)和源/漏电极栅(5)上形成第二半导体层(6)。