基于网络的光掩模数据输入接口和用于制造光掩模的指令生成器

摘要

一种用于根据顾客输入的光掩模规格数据而生成用在光掩模制造设备的指令的计算机网络。通常通过互联网连接将一系列订单输入屏下载到远程顾客的计算机上。该顾客被提示要输入光掩模规格数据，该光掩模规格数据被交付到制造商的本地网络的计算机设备中。该制造商的计算设备验证光掩模规格数据，并使用该数据来生成断裂指令和设备控制指令。该断裂指令与来自顾客的图形设计数据一起被发送到断裂机，它用于提供断裂图形数据。然后，可以把该控制指令和断裂图形数据电子交付到该制造设备。