晶圆的倒角加工方法和装置以及磨具角度调整用工具

摘要

本发明提供晶圆的倒角加工方法和装置以及磨具角度调整用工具，在使用2个无槽磨具的晶圆的倒角加工方法中，缩短无槽磨具的整形（修整）所花费的时间。此外，增大无槽磨具与晶圆的接触长度，缩短晶圆的缩径加工和将晶圆加工成希望的截面形状的轮廓加工所需的时间。晶圆的倒角加工方法是将晶圆（1）定心地载置在旋转台上，并使其旋转，使加工该旋转的晶圆的2个无槽磨具（3、3）与晶圆周端部（1a）接触而对晶圆（1）的直径或截面形状进行倒角的倒角加工方法，其特征在于，使上述2个无槽磨具（3、3）以其宽度方向的中心线（L、L）朝向被载置在上述旋转台上的上述晶圆（1）的旋转轴线（S）侧互相接近的方式配置，并与上述晶圆（1）接触。