用于执行等离子体化学气相沉积过程的装置

摘要

本发明涉及一种用于执行等离子体化学气相沉积过程的装置。该装置包括大体圆柱形的谐振器，该谐振器设有包围谐振腔的圆柱形外壁，谐振腔具有相对于圆柱轴线基本上旋转对称的形状。谐振器还包括在相对的圆柱轴线的方向上限制谐振腔的侧壁部。另外，该装置包括穿过圆柱形外壁延伸到谐振腔中的微波波导部。谐振腔在圆柱方向上的长度根据到圆柱轴线的径向距离变化。