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微波等离子体化学气相沉积金刚石膜装置的研究进展

     
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摘要

综述了各种微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)金刚石膜装置的结构及工作原理,并对它们各自的优缺点做了比较分析;基于MPCVD金刚石膜装置的发展现状.构想设计了一种新型高效的大功率大面积快速沉积CVD金刚石膜装置,并对其可行性做了初步分析研究.

著录项

  • 来源
    《真空与低温》|2008年第1期|1-5|共5页
  • 作者

    黄建良; 汪建华; 满卫东;

  • 作者单位

    武汉工程大学,等离子体化学与新材料省重点实验室,湖北,武汉,430073;

    武汉工程大学,等离子体化学与新材料省重点实验室,湖北,武汉,430073;

    武汉工程大学,等离子体化学与新材料省重点实验室,湖北,武汉,430073;

    中国科学院,等离子体物理研究所,安徽,合肥,230031;

  • 原文格式 PDF
  • 正文语种 chi
  • 中图分类 薄膜技术;
  • 关键词

    金刚石膜; 微波; 化学气相沉积; 装置;

  • 入库时间 2023-07-25 22:37:45

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