用于执行等离子体化学气相沉积工艺的方法

摘要

本发明涉及一种用于执行等离子体化学气相沉积工艺的方法。包括以下步骤：提供设备，该设备包括大体上为圆柱形的共振器，该共振器具备外圆柱壁，该外圆柱壁包围围绕圆柱轴线沿圆周方向延伸的共振腔，该共振器还具备在圆柱方向限界共振腔的侧壁部分，并且具备在沿圆周方向围绕圆柱轴线延伸的狭缝结构，该狭缝结构提供从共振腔径向向内的入口，其中该狭缝结构包括在圆柱方向相互偏移的多个狭缝部分，将衬底管从所述共振腔径向向内地容纳在管状内部空间中，将微波注入到所述共振腔中，以及使所述衬底管相对于所述共振器的圆柱轴线旋转。