公开/公告号CN104064557B
专利类型发明专利
公开/公告日2017-03-29
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院微电子研究所;华进半导体封装先导技术研发中心有限公司;
申请/专利号CN201410293014.7
发明设计人 于中尧;
申请日2014-06-25
分类号H01L25/065(20060101);H01L23/31(20060101);H01L21/98(20060101);
代理机构11302 北京华沛德权律师事务所;
代理人刘杰
地址 100029 北京市朝阳区北土城西路3号
入库时间 2022-08-23 09:54:10
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-05-21
专利权的转移 IPC(主分类):H01L 25/065 登记生效日:20190430 变更前: 变更后: 变更前:
专利申请权、专利权的转移
2017-03-29
授权
授权
2017-03-29
授权
授权
2014-10-22
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L25/065 申请日:20140625
实质审查的生效
2014-10-22
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 25/065 申请日:20140625
实质审查的生效
2014-09-24
公开
公开
2014-09-24
公开
公开
查看全部
机译: 表皮晶圆背面的检查方法,表皮晶圆背面的检查装置,表皮生长装置的脚钉的控制方法以及表皮晶圆的制造方法
机译: 晶圆背面金属层布线方法,相同结构,芯片包装堆叠方法及其芯片堆叠堆叠结构
机译: 在芯片制造过程中使用的提高半导体芯片断裂强度的方法,该方法包括在晶圆背面上涂覆涂层,以保护芯片免受物理或化学作用的影响,涂层厚度较大