公开/公告号CN103928296B
专利类型发明专利
公开/公告日2017-03-15
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院上海微系统与信息技术研究所;
申请/专利号CN201310015049.X
申请日2013-01-16
分类号
代理机构上海光华专利事务所;
代理人李仪萍
地址 200050 上海市长宁区长宁路865号
入库时间 2022-08-23 09:53:13
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-03-15
授权
授权
2014-08-13
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/02 申请日:20130116
实质审查的生效
2014-07-16
公开
公开
机译: 一种在衬底上沉积金属硝基选择的过渡层的方法
机译: 一种用于将膜转移到衬底上并具有包括多个施加边缘的施加构件的手持式装置
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