将薄层转移到具有不同的热膨胀系数的支撑衬底上的方法

摘要

将包含第一材料的薄层(3)转移到包含第二材料的支撑衬底(7)上的方法，第一材料和第二材料具有不同的热膨胀系数。转移薄层(3)的方法包括：提供供体衬底(1)，该供体衬底由处置衬底(1b)以及通过第一材料形成的厚层(1a)的组装件构成，处置衬底(1b)的热膨胀系数与支撑衬底(7)的热膨胀系数相似，并且供体衬底(1)在厚层(1a)的一侧具有主面(4)；将轻物种引入厚层(1a)中以在里面产生脆化平面(2)，并且限定脆化平面(2)与供体衬底(1)的主面(4)之间的薄层(3)；将供体衬底的主面(4)与支撑衬底(7)的一个面(6)组装在一起；将薄层(3)从脆化平面(2)脱离，该脱离包括应用热处理。