公开/公告号CN105304752B
专利类型发明专利
公开/公告日2017-03-08
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院上海硅酸盐研究所;
申请/专利号CN201510604391.2
申请日2015-09-21
分类号H01L31/18(20060101);
代理机构31261 上海瀚桥专利代理事务所(普通合伙);
代理人曹芳玲;郑优丽
地址 200050 上海市长宁区定西路1295号
入库时间 2022-08-23 09:52:54
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-04-03
专利权的转移 IPC(主分类):H01L31/18 登记生效日:20200316 变更前: 变更后: 申请日:20150921
专利申请权、专利权的转移
2017-03-08
授权
授权
2017-03-08
授权
授权
2016-03-02
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L31/18 申请日:20150921
实质审查的生效
2016-03-02
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 31/18 申请日:20150921
实质审查的生效
2016-02-03
公开
公开
2016-02-03
公开
公开
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