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一种检测球面光学元件亚表面损伤程度表征参数的方法

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本发明公开了一种检测球面光学元件亚表面损伤程度表征参数的方法，其特征在于，采用磁流变抛光工艺在球形光学元件上加工出一环形截面，腐蚀处理加工后的环形截面，使用激光共聚焦显微镜观察暴露、放大的微裂纹形貌，对微裂纹二维图像进行测量处理和计算，得到重积层在抛光后环形截面上的宽度W、亚表面损伤层在抛光后环形截面上的宽度S、微裂纹的长度AB、密度及微裂纹与亚表面损伤层外径的夹角θ；通过已知的球面光学元件的曲率半径R，以及所得数据信息，根据平面几何关系，计算获得球面光学元件亚表面损伤层厚度d

著录项

公开/公告号CN104132944B

专利类型发明专利
公开/公告日2017-02-15

原文格式PDF
申请/专利权人西安交通大学;
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申请/专利号CN201410330795.2
发明设计人王海容;陈洪凤;肖利辉;付广龙;蒋庄德;
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申请日2014-07-11
分类号
代理机构西安通大专利代理有限责任公司;
代理人朱海临
地址 710049 陕西省西安市咸宁西路28号
入库时间 2022-08-23 09:51:45

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2017-02-15

授权

授权
2014-12-10

实质审查的生效 IPC(主分类):G01N 21/88 申请日:20140711

实质审查的生效
2014-11-05

公开

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