平面光学元件亚表面损伤检测方法

摘要

平面光学元件亚表面损伤检测方法，包括：步骤一、采用定向磨料液体射流在平面光学元件表面制作观测斜面，观测斜面贯入平面光学元件的深度应当足以暴露亚表面裂纹；步骤二、用氢氟酸溶液蚀刻观测斜面，使得平面光学元件沿观测斜面方向的亚表面裂纹层充分暴露以便观测；步骤三、借助轮廓仪的扫描功能测量观测斜面的轮廓曲线，得出水平面与该观测斜面之间的夹角值；步骤四、借助超景深光学显微镜的微动平台和清晰成像功能获取沿观测斜面方向的亚表面裂纹分布情况，确定最终裂纹消失时微动平台移动的总距离；步骤五、结合步骤四中得到的最终裂纹消失时微动平台移动的总距离和步骤三中得出的水平面与该观测斜面之间的夹角值计算亚表面裂纹深度值。