一种用于CVD/CVI工艺的尾气处理方法及设备

摘要

本发明提供一种用于CVD/CVI工艺的尾气处理方法及设备，设计了三级吸附，三级吸附之间相互协同，相互支持，其中一级吸附利用了吸附油与尾气的逆接触，延长了尾气和油雾的混合时间，降低了尾气的温度，液化出的固、液有机物瞬间与吸附油粘接在一起落到坩埚中的碳毡上，提高了尾气吸附能力；同时带有机物的油雾落在不锈钢坩埚中的碳毡条上后，增强了碳毡的粘结能力，尾气通过碳毡之间的缝隙和通气孔时，多层密度梯度的碳毡会再次对尾气进行过滤，之后的尾气排出金属罐体时，罐底的吸附油也可以再次过滤。这种多级的过滤方式大幅度的降低尾气中固、液有机物的含量，进而提高后续金属器件的工作安全系数和成本。