PECVDプロセスにおける生成ダスト微粒子のための小型レーザ光散乱モニタリング装置の開発

摘要

プラズマプロセッシング技術は，多種のプラズマやプラズマ発生技術の開発に伴い，液晶，太陽電池，半導体などの製造プロセスにおけるエッチングや薄膜堆積，スパッタリングなど多岐にわたって利用されており，工業·産業分野での重要性がますます高まってきている。 しかしながら，プラズマプロセスでは，プラズマ反応によって生成する活性種濃度が高くなると，気相中で均一核生成が起こり，微粒子が発生することが報告されている。