摘要:采用自蔓燃高温合成方法合成β-氯化硅粉体,分析了合成氯化硅过程中氮气、温度、稀释剂与孔隙率等方面的影响.采用XRD研究相的组成,用SEM观察粉末的显微结构.研究结果表明:自蔓燃合成方法制备的氯化硅陶瓷粉体,β相含量由块状产物中心向表层减少,得到的β-氯化硅晶体结构完整,表面光滑无缺陷,考虑到燃烧温度(Tcom),在氯化硅粉体的合成过程中,涉及到3个反应机制:低温机制、中温机制、高温机制.NH4Cl在反应中分解,为反应提供了NH3,并与硅粉反应;氯气压力下硅粉的自蔓燃合成反应,必须要引入SiN4稀释剂采控制反应温度和反应速度,获得不同相含量的粉体;压坯气孔率控制在30%~70%,否则反应不能进行.