用于湿法刻蚀工艺的夹具和湿法刻蚀装置

摘要

本实用新型提供了一种用于湿法刻蚀工艺的夹具和湿法刻蚀装置。具体的，本实用新型提供的用于湿法刻蚀工艺的夹具，其是基于现有的8英寸硅片的湿法刻蚀装置中的半高片架的外部特性，设计的一款与该8英寸硅片的湿法刻蚀装置的半高片架配套的夹具，即，基于半高片架的U面双孔把手，设计了一款与所述U面双孔把手可连接的手柄式专用夹具(吊架)，通过将该手柄式专用夹具设置在半高片架外侧的一侧面的方式，解决了8英寸硅片的湿法刻蚀装置中的半高片架对片架上方空间要求比较大，且8英寸片架相应面积大、份量重的问题。