一种多晶氮化镓生长装置

摘要

本实用新型涉及半导体材料技术领域，且公开了一种多晶氮化镓生长装置，包括进气管以及与进气管连通的喷粉管，所述进气管的进气端固定连通有筒体，所述筒体向下形成开口；所述筒体的内部固定安装有承接斗，所述承接斗的内部镶嵌有电热丝，所述承接斗固定连通有存放管，所述存放管的内部转动套接有成型件；所述成型件连接有驱动封堵机构；所述筒体通过连通管与进气管连通，所述连通管上安装有第一单向阀，所述进气管上安装有第二单向阀，所述筒体的内部固定安装有加热丝。本实用新型提出一种多晶氮化镓生长装置，本实用新型通过对氮化镓气体进行循环利用；通过驱动封堵机构，对成型件进行驱动，提高氮化镓成型的均匀性。