一种光刻机上台面板位置调节机构及光刻机

摘要

本实用新型涉及光刻机技术领域，更具体地说，它涉及一种光刻机上台面板位置调节机构以及应用该调节机构的光刻机，其中，上述的位置调节机构包括机架、传感器、控制器和驱动机构，传感器用于分别测量上台面板的各个角与光刻机下台面板之间的距离；控制器用于以上台面板的一个角与下台面板之间的距离为基准，将上台面板其它角与下台面板之间的距离分别与该基准进行比较，并根据比较结果控制驱动机构驱动上台面板的其它角运动，使上台面板的各个角与下台面板之间的距离一致。根据本实用新型的技术方案，其可以对上台面板各个角的位置进行调节，当上台面板的各个角与下台面板之间的距离一致时，可以使上台面板上的掩模板与下台面板上的晶圆平行。