薄膜电容器元件、薄膜电容器和所述薄膜电容器元件的制造方法

摘要

本发明提供一种薄膜电容器元件，其具有较小尺寸和较高电容，同时可以确保高水平的足够的耐受电压，且可以高效制造。所述薄膜电容器元件包括层合体，所述层合体包括至少一层电介质膜和至少一层金属蒸镀膜。所述至少一层电介质膜包括至少一层气相沉积聚合物膜。通过沉积聚合多种单体而形成所述至少一层气相沉积聚合物膜，所述多种单体各自具有其中两个苯环经由连接基团相连接的结构。