大口径楔板光学元件超精密复合成形磨削装置

摘要

本实用新型涉及大口径楔板光学元件超精密复合成形磨削装置，包括床身，X方向传动机构沿X轴方向固定于床身上；工作台沿X轴方向与X方向传动机构可滑动连接；真空吸盘固定于工作台顶部，用于吸附固定元件；Y方向传动机构沿Y轴方向固定于床身上；Z方向传动机构沿Y轴方向可滑动于Y方向传动机构上；B轴旋转机构一端沿Z轴方向可滑动于Z轴方向传动机构上；主轴机构一端固定于B轴旋转机构另一端，且其轴线与B轴旋转机构轴线垂直；主轴机构另一端绕Y轴方向可摆动，磨削部固定于主轴机构另一端上，且与工作台位置对应；X方向传动机构、真空吸盘、Y方向传动机构、Z方向传动机构、B轴旋转机构及主轴机构均与控制系统电性连接。