大口径光学非球面超精密磨削装备与技术

摘要

针对大口径光学元件的超精密加工需求,在自主开发的MK7160和2MK1760两台平面磨床的研制基础上,进一步研发了高精度平面磨床UPG80。与现有大多数大口径平面磨床及MK7160、2MK1760磨床相比,UPG80应用了更先进的关键配套工艺技术,包含液体静压支承技术、砂轮修整技术及智能监测系统等。同时,对磨床UPG80的静态精度进行了检测,建立了三坐标轴误差模型对磨床进行误差补偿。在此基础上,采用金刚石圆弧砂轮对530mm×530mm口径的光学非球面元件进行加工,获得了良好的加工效果,验证了磨床的可靠性。