公开/公告号CN209306104U
专利类型实用新型
公开/公告日2019-08-27
原文格式PDF
申请/专利权人 江苏汇成光电有限公司;
申请/专利号CN201822048157.8
申请日2018-12-07
分类号
代理机构南京苏科专利代理有限责任公司;
代理人董旭东
地址 225128 江苏省扬州市邗江区高新技术产业开发区金荣路19号
入库时间 2022-08-22 10:24:23
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-08-27
授权
授权
机译: 用于开发处理晶圆整体表面的均匀性的方法,该晶圆具有高的均匀性,一种计算机存储介质以及一种基板处理装置
机译: 晶圆专用倒角装置
机译: 晶圆专用异物检查装置