用于液体槽的晶圆传输装置和晶圆清洗设备

摘要

该实用新型涉及一种用于液体槽的晶圆传输装置和晶圆清洗设备，所述用于液体槽的晶圆传输装置，包括：第一磁环，用于设置于所述液体槽的槽体内，与所述传输部相连接；所述第一磁环能够绕所述第一磁环的中心轴旋转，从而驱动所述传输部，使所述传输部带动待传输晶圆运动；第二磁环，用于设置于所述液体槽的槽体外部，磁性耦合至所述第一磁环，且所述第二磁环能够绕所述第二磁环的中心轴旋转，以通过磁性耦合驱动所述第一磁环旋转；传输部，设置于所述液体槽的槽体内，与所述第一磁环连接，用于受第一磁环驱动而带动所述槽体内放置的晶圆运动。采用所述液体槽，能够防止磁耦合的损耗，保证传输晶圆时的精度。