一种适用于RIE刻蚀的载板装置

摘要

本实用新型公开一种适用于RIE刻蚀的载板装置，属于太阳能电池技术领域，包括用于传输硅片的铝载体，还包括设置在铝载体内的若干用于放置硅片的硅片位、用于分隔硅片位的定位点、及设置在铝载体四周边缘上的若干陪片位；所述铝载体呈方形，所述硅片位具有四十个，硅片位均匀分布在所述铝载体上，通过所述定位点相互隔开；所述陪片位具有二十八个，陪片位通过定位点与所述硅片位隔开。本实用新型可实现陪片牢固的固定在载板上，不会在生产过程中发生陪片缺失，避免影响RIE刻蚀效果，有效保证工艺的稳定性，使硅片表面形成一层均匀纳米级凹坑。