一种具有角度定位装置的电子束曝光机校场系统

摘要

本实用新型公开一种具有角度定位装置的电子束曝光机校场系统，包括样品台主体，样品台主体包括校正区域，其中，校正区域内设置有定位凹槽和棋盘格样品，定位凹槽包括水平设置的第一凹槽以及与第一凹槽成4‑6°夹角的第二凹槽和第三凹槽，且第二凹槽与第一凹槽顺时针方向呈4‑6°，第三凹槽与第一凹槽逆时针方向呈4‑6°，棋盘格样品的底边与其中一个定位凹槽对齐设置，当电镜放大到900倍时，使所述棋盘格样品的整个校准点均落到视野范围内。有角度定位槽的存在，方便了棋盘格样品的摆放，使得棋盘格样品的摆放位置不会太偏，这样在电镜放大到900倍时，整个校准点都能落到视野中，且观察区域内的棋盘格与坐标轴偏角在程序可调控的范围之内，方便工作。