一种立体双层结构的热释电非制冷自选频红外探测器

摘要

本实用新型公开了一种立体双层结构的热释电非制冷自选频红外探测器，属于红外探测领域。本实用新型包括硅基底、多个立体双层结构的热电偶、一种三层结构的自选频红外吸收器、接触高电极、接触低电极和二氧化硅薄膜，与CMOS工艺兼容。本实用新型采用一种立体双层结构的热电偶，比传统的平面热电偶有更高的空间利用率，更好的响应度、探测灵敏度和噪声等效功率，器件的性能大幅度提升；采用一种三层结构的自选频红外吸收器，不需要额外的滤光器，对特定波长几乎100％的吸收。