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非制冷型热释电薄膜红外探测器的制备及应用

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摘要

介绍了室温非制冷型热释电薄膜红外探测器的原理和优势.从热释电材料的选择及器件的结构设计等方面阐述了热释电薄膜红外探测器的制备技术和研究动向,并归纳了器件的主要应用领域.

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来源
《激光与红外》|2004年第1期|14-17|共4页
作者
刘少波; 李艳秋;
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作者单位

中国科学院电工研究所微纳电加工部,北京,100080;

中国科学院电工研究所微纳电加工部,北京,100080;

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正文语种 chi
中图分类电工陶瓷材料;红外探测、红外探测器;
关键词
热释电; 薄膜; 非制冷红外探测器;

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