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一种非制冷热释电红外探测器及制备方法

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本发明公开了一种非制冷热释电红外探测器及制备方法，属于电子材料与元器件技术领域。本发明的非制冷热释电红外探测器包括衬底、热敏感单元，热敏感单元包括热敏感薄膜和电极，热敏感薄膜的厚度为50nm-5um，所述热敏感薄膜的材料为VOx1，或非晶硅，或钛酸锶钡(Bax2Sr1-x2)TiO3，或锆钛酸铅Pb(Zrx3Ti1-x3)O3，或掺镧锆钛酸铅(Pby1La1-y1)(Zrx4Ti1-x4)O3，或钽钪酸铅Pb(Tax5Sc1-x5)O3;其中，1

著录项

公开/公告号CN103022177A

专利类型发明专利
公开/公告日2013-04-03

原文格式PDF
申请/专利权人四川汇源科技发展股份有限公司;
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申请/专利号CN201310009496.4
发明设计人王晓川;张欣翼;许丽娜;
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申请日2013-01-11
分类号H01L31/032;H01L31/18;
代理机构电子科技大学专利中心;
代理人张杨
地址 611731 四川省成都市高新区(西区)西芯大道5号
入库时间 2024-02-19 19:11:24

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2015-10-28

发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):H01L31/032 申请公布日:20130403 申请日:20130111

发明专利申请公布后的视为撤回
2013-05-01

实质审查的生效 IPC(主分类):H01L31/032 申请日:20130111

实质审查的生效
2013-04-03

公开

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