公开/公告号CN103352201B
专利类型发明专利
公开/公告日2016-06-08
原文格式PDF
申请/专利权人 应用材料公司;
申请/专利号CN201310231575.X
发明设计人 夏尔玛·帕玛锡;赫蒂·道;小平·周;凯丽·A·麦克多诺;杰维科·迪内维;法里德·阿布阿梅里;戴维·E·克特内兹;吉姆·忠义·何;罗伯特·S·克拉克;丹尼斯·M·库索;杰弗里·威廉·迪茨;德克兰·斯坎伦;萨布哈什·德什;约翰·P·霍兰;亚历山大·帕特森;
申请日2007-05-02
分类号
代理机构北京律诚同业知识产权代理有限公司;
代理人徐金国
地址 美国加利福尼亚州
入库时间 2022-08-23 09:40:33
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-04-16
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):C23C 16/00 授权公告日:20160608 终止日期:20180502 申请日:20070502
专利权的终止
2016-06-08
授权
授权
2016-06-08
授权
授权
2013-11-13
实质审查的生效 IPC(主分类):C23C16/00 申请日:20070502
实质审查的生效
2013-11-13
实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 16/00 申请日:20070502
实质审查的生效
2013-10-16
公开
公开
2013-10-16
公开
公开
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机译: 真空处理室,适用于蚀刻高纵横比特征和相同部件
机译: 真空处理室,适用于蚀刻高纵横比特征和相同部件
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