带CMOS温度传感器的温度补偿型半导体应变计

摘要

本实用新型属于半导体应变测试技术领域，具体涉及一种带CMOS温度传感器的温度补偿型半导体应变计。包括：由四个压敏电阻组成的应变敏感器件，四个压敏电阻尺寸相同，相互连接并组建Wheatstone全桥；由两个CMOS晶体管组成的温度敏感器件，两个CMOS晶体管尺寸相同，位于Wheatstone全桥的四个压敏电阻中间；CMOS晶体管和Wheatstone全桥共用一个恒压激励源，且其负激励端接地，两个CMOS晶体管的基极直接连至全桥输入端的接地端，两个CMOS晶体管的集电极均由外部固定电阻连接至恒压激励源，且这两个外部固定电阻阻值不同。本实用新型通过用不同的驱动电流驱动两个相邻且等尺寸的晶体管，消除因晶体管各项寄生物理量及工艺偏差等引起的误差，从而增加了测量温度的精准度。