温度补偿型半导体应变计研制

目录

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第一章 绪 论

1.1 研究工作的背景及意义

1.2 应变天平应变计分类

1.3 温度补偿方法概述

1.4 研究内容及结构安排

第二章 半导体应变计理论基础

2.1 半导体的压阻效应

2.2 半导体应变计的工作原理

2.3 性能指标

2.4 本章小结

第三章 温度补偿型半导体应变计设计与仿真

3.1 仿真软件简介

3.2 温度补偿型半导体应变计设计

3.3 温度补偿型半导体应变计仿真

3.4 本章小结

第四章 半导体应变计工艺与测试

4.1 半导体应变计工艺流程

4.2 半导体应变计版图设计

4.3 半导体应变计测试

4.4 灵敏度温度补偿

4.5 本章小结

第五章 半导体应变计在应变天平上应用

5.1 应变天平简介

5.2 应变天平粘贴

5.3 应变天平静态校准

5.4 本章小结

第六章 全文总结与展望

6.1 全文总结

6.2 后续工作展望

致谢

参考文献

攻读硕士学位期间取得的成果与参与项目