单晶硅生长炉的石墨坩埚

摘要

本实用新型公开了单晶硅生长炉的石墨坩埚，其特征是：包括坩埚本体，所述坩埚本体由大小相同的至少三瓣坩埚片和一个坩埚托盘组成，所述相邻的坩埚片的顶部通过连接件连接，所述坩埚本体外表面具有间隔均匀且高度相同的凸台。本实用新型的优点是：能降低单晶硅生产中的氧含量，传热效率高，加热迅速。