一种单晶硅生长炉的石墨坩埚

摘要

本发明涉及一种单晶硅生长炉的石墨坩埚，具有本体；所述本体包括圆柱形的侧壁和半球形的底部；所述本体由三瓣块体组成；所述侧壁的外表面等距设有环形的凸台和凹槽，凸台和凹槽间隔分布；所述相邻块体的顶部通过连接件连接。本发明传热效率高、加热迅速且节约能耗，而且对本身及石英坩埚具有一定的保护作用。