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单晶硅拉制炉用炭/碳化硅复合材料坩埚的制备及应用

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摘要

本文利用化学液相渗透法制备了单晶硅拉制炉用炭/碳化硅复合材料坩埚部件,并对其力学性能和微观结构进行了测试分析,通过上炉验证,表明炭/碳化硅复合材料坩埚相对传统石墨坩埚和炭/炭坩埚具有耐腐蚀、寿命长的特点,具有较大的应用前景.

著录项

来源
《第24届炭—石墨材料学术会》|2014年|97-100|共4页
会议地点海口
作者
张永辉; 孟凡才; 彭志刚; 胡振英; 赵俊; 赵松; 谷立民; 樊振宁; 姚西明; 苏君明;
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作者单位

中国电工技术学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类 TQ053.2:TQ050.6;
关键词
坩埚; 复合材料; 炭元素; 碳化硅; 化学液相渗透法; 力学性能; 微观结构; 单晶生长炉;

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