单晶硅炉用碳石墨材料的研制与应用

摘要

ＣＺ法拉制半导体单晶硅，炉室中使用多种碳石墨材料。本文简要介绍单晶炉炉室结构、工作原理，重点阐述适用碳石墨材料的要求和研制应用情况。